探針冷熱臺(tái)主要用于半導(dǎo)體行業(yè),其可滿足大多數(shù)用戶晶圓測(cè)試應(yīng)用的需求。目前有多種型號(hào)可選,包括專業(yè)、高性能、半自動(dòng)、通用功能和經(jīng)濟(jì)功能等。此外,還可提供必需的消耗品和附件。
根據(jù)探針冷熱臺(tái)的結(jié)構(gòu),要實(shí)現(xiàn)測(cè)試臺(tái)的自動(dòng)化控制,首先要對(duì)X、Y、Z移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行機(jī)械改造,采用步進(jìn)電機(jī)代替原來(lái)的手輪。X、Y移動(dòng)平臺(tái)的傳動(dòng)和導(dǎo)向均采用絲桿與直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),Z軸方向采用滾珠與直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),兩者都具有導(dǎo)向精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好,對(duì)溫度變化的敏感性小等特點(diǎn)。但是步進(jìn)電機(jī)與導(dǎo)軌是不能直接連接的。為了實(shí)現(xiàn)更好的機(jī)械耦合,帶來(lái)更好的實(shí)驗(yàn)效果,系統(tǒng)中使用了柔性連軸器作為電機(jī)與導(dǎo)軌的中間紐帶。再加工相應(yīng)的機(jī)械零件將電機(jī)固定于測(cè)試臺(tái)上。
采用單片機(jī)作為下位機(jī)的主控芯片,單片機(jī)具有與眾不同的功能和特點(diǎn),超低功耗設(shè)計(jì)可以提高電源的效率,節(jié)省電能,眾多的片內(nèi)外圍設(shè)備可以減少成本的投入,方便的開(kāi)發(fā)平臺(tái)和Flash型現(xiàn)場(chǎng)更新功能可以有效加速產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)進(jìn)程。
單片機(jī)先通過(guò)串口接收上位機(jī)界面的命令信息,再根據(jù)相應(yīng)的命令通過(guò)相應(yīng)的算法之后控制三個(gè)電機(jī)的轉(zhuǎn)與否,正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn),以及轉(zhuǎn)動(dòng)的步數(shù)和速度。因?yàn)樘结樌錈崤_(tái)是接觸式測(cè)試探針臺(tái),所以在測(cè)量時(shí)先對(duì)X、Y軸電機(jī)進(jìn)行控制,移動(dòng)到測(cè)量位置之后再對(duì)Z軸電機(jī)進(jìn)行控制。